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    洁净空间的温湿度主要是根据工艺要求来确定,但在满足工艺要求的条件下,应考虑到人的舒适度感。随着空气洁净度要求的提高,出现了工艺对温湿度的要求也越来越严的趋势。具体工艺对温度的要求以后还要列举,但作为总的原则看,由于加工精度越来越精细,所以对温度波动范围的要求越来越小。例如在-集成电路生产的光刻-工艺中,作为掩膜板材料的玻璃与硅片的热膨胀系数的差要求越来越小。






     对于乱流洁净室 由于主主要靠空气的稀释作用来减轻室内污染的程度,所以主要用换气次数这一概念,而不直接用速度的概念,不过对室内气流速度也有如下要求;(1)送风口出口气流速度不宜太大,和单纯空调房间相比,要求速度衰减更快,扩散角度。(2)吹过水平面的气流速度例如侧送时回流速度不宜太大,以免吹起表面微粒重返气流,而造成再污染,这一速度一般不宜大干0.2m/s。






    在洁净室中,人是决定微粒污染物产生的重要因素。洁净室内工作的人员都应当充分了解个人卫生习惯对洁净室洁净程度的影响有多大,这才是重要的。长沙云洁净化工程为您介绍洁净室工作人员应遵循的规程,有关服装和个人用品方面的要求,供读者参考。至于珠宝首饰,工作人员可以戴结婚和订婚戒指,但不要戴有尖角或者边沿锋利的戒指,因为它们可能会刺穿手套或者衣服。





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